来源:yiyi

时间:2011-10-3 14:46:33

今天介绍扫瞄电子显微镜SEM的原理跟应用，扫瞄电子显微镜用在很多的场合，包括材料分析跟一些破坏分析都用的到，所谓扫瞄电子显微镜的英文全名为Scanning Electron Microscopy，简称为SEM。
   我们今天上课分为五个部份，因为时间的关係每个部份只能大概包含一些重点，其中主要就是我们电子显微镜中电子束形成的方式是第一个，接下来就是扫瞄电子显微镜的内部构造稍为做一些简介，再下来我们会提到电子显微镜成像，就是它形成的影像是什麽样的形式，它有那些的原理我们会做一个介绍，第四个部份就是会介绍扫瞄电子显微镜裡面较重要一个辅助的功能，也就是成份分析，你在看你试片的影像的同时，也可以知道试片裡面含有什麽样的元素，这成份分析简称为EDS，这个我们会做详细的说明，较后一个部份会简单的介绍电子显微镜它的试片製备，以及需要注意哪些地方。
   这边有几个参考的书籍，这门课裡面主要是由这本书Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis这本书的一些图片跟档桉来製作完成的，这本书由1990年代发行，虽然现在已经没有再发行，不过它的内容非常好。至于中文的部份是由陈力俊院士，正是目前国科会副主任委员，他所着作的一本书叫做材料电子显微镜，是由国科会精密仪器中心发行的。