首先来说说它的用途：光切法显微镜以光切法和观察机械制造中零件加工表面的微观几何形状，在不破坏表面的条件下，测出截面轮廓的微观不平度和沟糟宽度的实际尺寸。此外，还可以测量表面上个别位置的加工痕迹和破损。

该显微镜适用于测量Δ3~Δ9级表面光洁度，但只能对外表面进行测定。

用该仪器除对金属表面进行测定外，亦可对如纸张，木材和人工材料等进行测量。