场发射扫描式电子显微镜(FEGSEM:Field Emission Gun Scanning Electron Microscopy)
使用六硼化镧(LaB6)或奈米碳管(CNT)製作成针尖小于100nm(奈米)的奈米尖端来发射电子束(场发射),奈米尖端可以使电子束的直径缩小到 10nm(奈米)左右,请参考图1-6(b)所示,其原理与扫描式电子显微镜(SEM)相同,如图4-54(d)所示为场发射扫描式电子显微镜 (FEGSEM)照片,场发射扫描式电子显微镜(FESEM)的解析度更高,可以用来观察大约10nm(奈米)的结构,但是只能观察物体表面的高低起伏,所以表面平整的物体无法使用。
穿透式电子显微镜(TEM:Transmission Electron Microscopy)
使用钨丝来发射电子束(热游离),生物显微镜,当电子束穿透物体时,电子受到物体原子排列的影响而散射,较后投影在投影银幕上,如图4-55(a)所示,我们可以由电子束在投影银幕上的二维投影图,反过来推算物体原子的三维结构与结晶情形。使用穿透式电子显微镜必须让电子束可以「穿透」试片,因此在观察之前必须先将试片加工研磨成小于200nm(奈米)的厚度才行,如何将试片研磨到这麽薄又不破坏物体原有的结构是非常困难的事,将电子束在投影银幕上的二维投影图送入电子束侦测器,就可以得到如图4-55(b)所示的穿透式电子显微镜(TEM)照片,穿透式电子显微镜(TEM)的解析度很高,可以用来观察大约10nm(奈米)的结构,而且可以分辨不同材料组成的平面物体,也可以观察物体的横截面。
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