扫描式电子显微镜室仪器配备

扫描式电子显微镜室：扫描式电子显微镜（含EDS系统）、镀碳(金)机、薄膜应力量测仪。

穿透式电子显微镜室：穿透式电子显微镜（含EDS系统与离子减薄机）,偏光显微镜。

精密仪器室：

主要设备包括刮痕式镀膜附着性试验机、应力应变试验主机、2D/3D表面粗度轮廓仪、金相显微镜、微放电加工设备、迴转式多功能磨耗试验机、多功能滑动磨耗试验机。

材料检测室：主要设备包括非接触温度计量测系统、真空烘箱、动态疲劳实验机、100吨静态拉伸实验机等。

以上设备为研究用等级，提供良好的研究支援能量。