首先，激光扫描显微镜与扫描电子显微镜相似;

其次，激光扫描显微镜是用激光束工作，而扫描电子显微镜是采用电子束工作的；激光扫描显微镜还采用了自动聚焦装置。

激光扫描显微镜主要工作参数工作距离:1~45mm;测量范围:0. 005~lmm;较高垂直分辨率:lnm,可用于样品的微观形貌观察，表面结构和粗糙度测量、振动和形变的观察.