晶体试样微小硬度量测显微镜-金相微结构
穿透式电子显微镜试样制作
穿透式电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM)
可观察更细微之镀层结晶组织变化,鉴定结晶缺陷种类及其密度;
横截面 TEM 试样的制作,则是将两片裁切成 20mm×3mm 之
薄片镀层与镀层相对两旁以铝夹持片堆叠,使用 M bond 环氧树脂黏贴
后,切割成 3mm×3mm×2mm 薄块。
再将此薄块黏以晶体胶贴于圆形盖玻片上再黏于载台上,经由水砂纸研磨除去表面残胶后,
再由凹窝减薄机(dimpler)配合 1μm 的钻石膏进行抛光减薄,于抛光
面上使用 M bond 黏贴铜网,再将试样翻面。翻面后继续以水砂纸
研磨试样至厚度约为 15μm,再使用凹窝减薄机进行抛光至破孔略
扩进镀层后,用丙酮溶去残胶取下试样,较后使用离子减薄机减薄
在微小硬度量测完成后,将试样经化学腐蚀表面,由于各组织
对腐蚀液之抵抗强弱不同,所以侵蚀后反射光有强弱分别,
便能以光学显微镜(Optical Microscope,OM)观察其横截面金相微结构,
选 500X 下拍照作为观察,而化学腐蚀液