研磨加工表面光洁度及颗粒测量显微油分析仪器

对于微型球状研磨工具而言，由碳化钨电极经放电高温熔化并 借助由表
面张力原理使其尖端形成球状，成球形状精度会受到峰值电流、脉冲时间
影响而球状电极之偏摆角度受到电极转速之参数影响，而复合电镀沉积时
镀层的表面平整度、磨粒分布均匀性与镀层厚度皆受到电流密度、磨粒添
加量、工具转速与电镀时间等参数影响。因此拟控制以上参数以得到较佳
之制程参数。

制作出磨粒分布均匀的微型研磨工具，其工具球径大小、长度、偏摆
角度、表面磨粒附着量多寡等，皆会影响研磨加工后的微凹型球面模穴表
面品质，所以本研究将再进行微凹型球面模穴研磨加工的特性探讨，以得
到较佳研磨加工效果

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