共轭焦激光扫瞄显微镜量测

共轭焦激光扫瞄显微镜是利用激光光源，在光学基础上采用光源焦平面与观察者焦平面共轭成相的原理，
再利用电脑对所扫描分析的对象进行数位图像处理的观察和分析，具有较高的水平解析度，

并可利用电脑分析重建三维影像，但价格相当昂贵。镍模仁一方面表面反射特性佳，且为凸特征，
以共轭焦激光扫瞄显微镜扫瞄镍量测效果还不错。

但在量测下凹V沟如矽基蚀刻时，在V沟底部的扫瞄则出现明显杂讯与失真的现象。
而于透光物件如PMMA导光板量测时，扫瞄轨迹的杂讯非常大，且LGP为下凹特征，
在V形下凹的部分几乎无法辨识，以致V沟深度与角度无法准确量测

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