常用显微术比较	光学显微术( OM )	扫描电子显微术( SEM )	穿透电子显微术( TEM )	扫描探针显微术( SPM )
横向解析度	300 nm	1 nm	原子级	原子级
纵向解析度	20 nm	10 nm	无	原子级
成像范围	1mm	1mm	0.1mm	0.1mm
成像环境	无限制	真空	真空	无限制
样品准备	简单	镀导电膜	手续繁复	简单
成份分析	无	有	有	无

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)