光学放大物镜搭配测量装置-测定微小工件投影仪
在一般的情况之下,想要求得每一像素(pixels)实际代表的长
度,可由 CCD 规格中的感测区域(Sensing Area)尺寸
和镜头放大倍率来求得
CCD感测区域尺寸
每一像素点代表长度 ————————————————
镜头放大倍率 CCD感测区域分辨率
在普通的情况之下,以此种推算方法来计算实际的长度不会有
多大的误差。
但如果以此公式套用在绕射极限附近的光学放大系统
下,将会有极大的误谬存在
假设此数值代表了实际可以解析的能力,那此套系统将具有能
解析到 0.013μm 的能力,若我们再选择更高的 CCD 感测区域解析
度,是否就可以继续提高分辨率,当然,此问题的答案是否定的。
原因是这个系统中根本不存在有经此放大光学系统放大后大小刚好
等于一个像素的光点。
利用上式在绕射极限附近的光学放大系统下
推算的误谬在于,没有考虑到光学系统的解析能力是有限的,以本
系统为例,在绕射效应的限制之下,推算出的较大解析度将不会达
到 493 个,由此可知光学系统的调制转移函数(Modulation Transfer
Function, MTF)将是整个分辨率上的限制。
虽然一个像素所对应的大小,不能代表实际的尺寸,不见得有
意义,但是数十个或是数百个像素所对应的尺寸,就拥有其不可否
认的实际意义,但计算出来的数值,其有效的位数将被限制,在此
种不合理的情况之下,要利用此种估算的方法,较能接受的即是采
用相对比较的值