显微镜观察透明水凝胶材料上的细胞轮廓
绕射式光学元件为了要提升效率,会将元件制作成多位阶
(Multiple Level)的形式。传统的做法,会用多片不同的光罩,经过多
次曝光、显影与蚀刻的步骤,将元件制作出来。但这个过程过于繁复,
容易造成制作上的困难与误差。然而灰阶光罩(Gray Level Mask)技术
改进了制作方式。利用灰阶光罩,只需一次的曝光、显影与蚀刻步骤,
即可做出高效率的绕射式光学元件。
激光直写玻片(Laser Direct Write Glass,LDW Glass),
这是一种利用激光束写入灰阶图案的玻璃片,用来制作灰阶光罩。
用波长为 442nm 与 532nm 的激光当作光源,以显微镜物镜(NA=0.1、0.25、0.4)
聚焦写入玻片。
量测了玻片之穿透率谱线以及不同显微镜物镜之聚焦效果,较小光点大小约 2μm。
测试了激光写入光强、时间、速度与玻片穿透率之间的关系。
制作出光栅之灰阶光罩,并成功制作出表面起伏连续变化的闪耀式光栅。
其中周期分别为 46μm 与 15μm,品质因子(Quality Factor)为 0.9 与 0.83。
并以光学显微镜,电子式显微镜,原子力显微镜来观测元件,
加以印证灰阶光罩技术的成果