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线聚焦原理-上光仪器精密仪器显微镜成像设备




来源:yiyi
时间:2013-1-24 21:18:49

线聚焦原理-上光仪器精密仪器设备简介

线聚焦原理(Line Focus Principle)

使用小焦点并且通大电流较为理想,让我们把焦点想成一面镜子,现在使焦点与电子流进入方向夹成一个角
(实际的焦点与观察有效的焦点之间有个三角函数的比例,端看两者的夹角而定。)

所以如果入射的实际焦点固定,靶与电子流的夹角增加,有效焦点变大,由于有效的焦点看起来总是比实际上小,
所以可以达到较大散热面积与小焦点的好处。照理来说,夹角越小越能利用大面积散热,又能保持小焦点的作用,
但是实际上角度只能在7~15度之间,因为有脚跟效应(heel effect)的作用。

小角度:影像成像佳,阳极靶须承受高热,成像范围小。
大角度:影像成像较差,阳极靶不须承受高热,成像范围大。

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