上光仪器-工具显微镜自动对焦的原理
自动对焦的原理
系统可进行XY水平量测。但是仅凭CCD摄像机影像,系统无法进行高度量测。系统通常都具备自动对焦机制,用于高度测量。以下向您介绍使用普通影像的自动对焦机制,虽然有些系统可能使用激光自动对焦。
系统沿着Z轴上下移动CCD,进行影像分析。在分析影像对比时,清晰的影像表示对比值较大,模糊的影像表示对比值较小。因此影像对比度较高时的高度即为焦距高度。
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