关于测量工件显微镜的光学原理中光源的介绍
光 有绝佳的轮廓线。可用在半透明工件。无法得知工件表面的颜色,瑕疵和高低。
同轴光 可使表面结构倍强调。表面有不平的地方会变暗。突显半透明的工件。
均匀光 不再加以强调表面结构。提高工件吸收光线的对比。高度的效果会降低。
低角光 强调高度变化。有高低不平的表面会变亮。平坦光滑的表面会变暗。外形和轮廓被强调。
複合光 可测得高度的变化。
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