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简单介绍表面粗糙度误差-颗粒粗糙度检测显微镜

来源:yiyi

时间:2013-2-12 1:54:58

表面粗糙度误差
由于准分子激光光刻的能量输出并不连续，因此会在元件上产
生出如斧凿般的痕迹，但此痕迹也是在所难免的，表
面粗糙度较大都到达微米（μm）级，相较于光学表面奈米（nm）级
的要求过于粗糙，唯有再加研磨抛光技术，才可消除此波纹。

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