表面輪廓仪量测有什么样的特点-测量工具显微镜

表面輪廓仪量测特性
接触式表面輪廓仪的量测原理是以电脑控制平台的左右移动，藉由固定在探针臂上的探
针扫描物体表面，透过Linear variable differential transformer (LVDT)将探针上下的移动转换成
为表面輪廓的轨迹。以KLA-Tencor Alpha-Step IQ型号为例，扫描长度可至10 mm，其纵向量
测较深可至2 mm，当深度量测范围在20 µm时，垂直解析度可达0.012 Å。

一般探针为圆锥狀，顶部为圆球，探针半径与顶角的选择很重要，标準Tencor Alpha-Step
采用半径5 µm顶角60°的探针。当应用于评估导光板微特征成形，需量测微结构的宽度、深度
与斜面角度。探针半径或顶角影响到特征尺寸的辨識度，探针半径较大时，在扫瞄断差时，
轨迹因探针顶部圆角的关系相对起伏较小，不易判讀其特征宽度。若要量测微特征的斜面角
度β，则探针顶角θ的选择必须满足，

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)