精密零件测量显微镜-量测的较小特征宽度是3.7 μm

扫瞄轨迹角度γ 即是微特征的斜面角度β。否则所扫瞄出的轨迹角度将会是探针角锥斜面角度
特征宽度必须大于探针圆球横截面宽时，即特征宽度W，探针半径R与顶角θ需满足(2)，
才可量测特征宽度，其辨識误差将受探针半径影响。受限于探针顶部半径R与特征宽度W，此
时所能扫瞄的较大特征深度如，因此量测V沟时，探针将无法下降至V沟尖端。本研究所
使用的为半径2 μm顶角45°的探针，

依符合推测可量测的较小特征宽度是3.7 μm，而所能量测的较大特征角度是67.5°。考量塑胶成形限制，
一般V沟宽度都会大于10 μm 但在量测导光
板V沟时，除非在V沟底部采用截顶的设计，且深度小于式的值，否则仍无法正确量出成形转写高度

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