反射镜的反射光会从入射光光路反射-光学原理

光栅绕射元件

我们设计的光栅是反射式光栅，间隔宽度为 2、2.5、3、3.5um，
在显影的过程当中都会造成脱落。因此较后我们分
别以 2、2.5、3、3.5 微米设计才成功的做出光栅的光罩。

直角锥状反射镜

一组包括 2500 微米宽 1250 微米高的等腰直角三角形至 20 微米宽 10 微米高一系列的等
腰直角三角形,还有三角反射镜两股长分别为 325 微
米与 10 微米的特殊三角反射镜

当光入射至我们的微直角锥反射镜，经过我
们的特殊设计之角度关系，其反射光会原来的入射光光路反射回去，
以达到我们所需求之反射镜。

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