每一点待测曲线与基准中心线之误差值
待测曲线之总长度
此计算我们是使用电脑软体(Matlab)来加以分析,首先以薄
膜测厚仪量测到的曲线数据,利用离散小波函数(Wavelet)转换,
此方法可以将我们量测到数据作小波函数转
换,将其滤波成高、低频两部分作分析,并且可以再将其低频的部
分作第二阶的小波函数转换,也可在作第三阶、第四阶 …的转换,
较多可至第八阶的转换,如此可以用不同的阶数转换,来作个别所
需要的分析,以误差值较小的为其所需之分析阶数,如同量测海岸
线之原理一样,量测范围以适当的海岸地形为主,忽略因海岸边石
头的误差,以适当之范围作分析。而使用小波函数转换的计算也如
同量测海岸线一样,可以选择一个适当的阶数做转换,经过我们以
各阶的分析后,
发现我们量测到的各各微光学元件数据,
经过一次的小波函数转换值和实际理论数据误差值为
较小,因为以小波函数转换在对其第一次转换后的数据,所以我们
以小波函数转换作一次的分析。而经过一次小波函数转换其低频的
部分作为我们量测数据的基准中心线,其高频的部分也就等于我们
的粗糙度值,所以以小波函数转换作分析,其有比较快的运算速度
及其准确性。