精密光学机械-在显微镜下的微移高精度测量零件

2.5轴显微操纵系统的设计与制作系统

具有显微操纵系统基本功能，能设定存在显微镜下的微动画线结构。划线精度在0.1mm以下，做

可以做实验平台。

(1)  设备实验设备的架构
(2)  显微镜的操作及校验
(3)  X-Y微步进平台的架构

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