搭配电子显微镜可对材料量测其机械性质
材料可靠度的角度来看,机械性质扮演一个重要且根本的角色,任何材料在实际应用之前,均须先经机械性质验证,就连先进半导体制程模组之开发以及生物工程科技之推展,也都必须审视其重要性。尤其当材料结构趋近纳米尺度时,机械性质将可能发生很大之改变,影响材料可靠度甚巨;
因此,材料于纳米尺度下之机械性质分析与变形行为观察,由于材料结构纳米化,传统工具已无法有效量测其机械性质,
而必须仰赖纳米机械测试技术加以分析。近年来,纳米压痕测试广泛应用于薄膜材料、纳米材料、生物组织等纳米结构之机械性质量测,
甚至可搭配电子显微镜进行纳米尺度变形机制之同步临场分析,
对于材料之开发研究与可靠度评估具有相当实际之助益。
电子显微镜实验,在做有关电子显微镜时,要拍很高倍率照片的时候,即使是开门、走路甚至是冷气出风口的风流动都会影响实验。
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