光学式粗糙度值测量方法的优点有哪些
以光学为基础之非接触式量测技术,除了具有非接触的量测机制,可避免与表面精度需求极高之待测物直接碰撞,更重要是光学检测系统具备高度的量测精度,同时也具备优良的稳定性与可靠度。表面粗糙度在不同场合有不一样的需求,对于光学元件来说,表面平整度要求甚高,因此若运用一般机械接触式的量测方法,
例如:比较量测法、探针式量测仪、电容测定法以及放射性同位素量测法,不但不能达到量测标准,也会对待测物表面或轮廓产生破坏。所以,运用非接触式量测技术,乃是较佳的选择,目前常运用于光学量测之方法有光线切断法、光线反射法、光波干涉法、电荷耦合器取样法以及光散射方法
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