扫瞄穿隧式显微镜的原理-精密光学仪器常识

原子力显微技术

原子力显微镜

自从 1982 年扫瞄穿隧式电子显微镜(STM)发明之后，开启了可以直接探索原子尺度的表面结构，
方便我们取得样品表面的影像，
此后各式不同功用的扫瞄探针显微镜(SPM)也相继不断地被发展出来，

而以 1986 年所发明的原子力显微镜(AFM)用途较广。

由于扫瞄穿隧式显微镜是使用量子穿隧效应做为回馈控制的讯号，样品需为导体或半导
体，且系统要求需在高真空环境下进行，才能使影像的解析度更好，
但也降低了其实用性与便利性。

然而原子力显微镜，它可在大气环境及液体下操作，受测样品不须具有导电性，所以研究及应用的领域范
围就更加宽广，
加上它的解析度也可达到奈米级，对微区结构的表面几何形貌、粗糙度等特性，提供了微小量技术的主要利器。
尤其对于传统扫瞄电子显微术无法清楚解析之样品，更是较佳的检测工具

AFM 仪器系统架构，分为三个主要部分：扫瞄控制主体系统、电子控制系统、及隔离防震系统

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