提高解析度轻敲式扫描电子显微镜的原理

轻敲式（tapping mode）

轻敲式原子力显微镜是介于接触式和非接触式之间的一种模式。相对于非接触式，
轻敲式则是加大振幅与缩短针尖与样品之间的距离，使振盪中的悬臂樑更接近样品，而针尖与样品之间的距离已缩
小到使得悬臂樑振盪振幅的较低点能够“轻敲”样品的表面。此法不
仅可以提高解析度，并减少破坏样品的机率，所以此模式亦是目前较常使用的方法

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