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一般光学显微镜配合对焦寻形原理测量三维表面轮廓




来源:yiyi
时间:2013-5-27 1:42:38

一般光学显微镜配合对焦寻形原理测量三维表面轮廓

利用一般光学显微镜配合对焦寻形(Shape from Focus,SFF)原理,并结合较小相邻反捲积
(nearestneighbor deconvolution,NND)技术即可重建出待测物的三维表面轮廓。
但在量测待测物过程中,若因待测物的表面资讯不足,

则会导致反射光讯号弱,造成讯噪比(Signal-to-Noise Ratio)差,则待测物的三维表面重建杂讯较多,
因此在撷取影像时,CCD 会重複撷取影像再取其平均值以改善讯噪比,由于这个重複撷取影像过程,
会使整体量测的时间增长,为了使量测时间缩短,

可选用较高讯噪比的 CCD摄影机,如此一来,就可兼顾讯噪比与整体系统量测的时间

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