三维反射式检测显微镜M-3D7-几何光学原理

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产品信息

基于几何光学、临界角法之原理，衍生出一种非扫描非干涉的三维反射式光学显微镜，
利用物体表面上的高度差所造成的反射光角度改变，再经由平行四边形稜镜将此角度改变转换成灵敏的出射光强度改变。
为考虑稜镜反射率对高度转换之非线性误差造成量测表面高度的误差而进行补偿之研究，可将此非线性误差减至较低，
使得所得之三维影像更接近真实。

此三维反射式光学显微镜，其放大倍率可达到两百五十倍以上，可提供次微米的量测，并拥有奈米级的纵向解析度，
可同时量测二维与三维之影像，量测上无论是粗糙之表面抑或是光滑表面上的小缺陷皆能快速被检测出，
量测速度上因为使用CCD撷取影像，如拍照一般，所以可做为大面积快速之即时量测，十分创新有趣。

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