扫描电子显微镜的原理试样制程简介

扫描式电子显微镜
（ScanningElectronMicroscopy,SEM）

扫描式电子显微镜（SEM）

观察粉末在球磨时间下，其形态与颗粒大小的变化趋势及观察热压
后块材的表面型态。

原理为藉由电子束经电压加速后，经电磁透镜的电子光学系统使电子束聚集至试片表面
，产生出二次电子等讯号，其讯号由侦测器侦测后，以讯号放大处理传送至CRT，

试片表面之形貌等就由此同步成像方式呈现；试片的形貌较受到导电影响，若导电
差则需要镀碳或镀金

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