光学式表面粗糙度测量仪器-精密测量显微镜

不同的材料对于光的反应皆有所不同，以物理观点来看，大致可分为可穿透元件及不可
穿透元件，且描述光的行为主要有反射、透射、散射、吸收。

材料的表面性状也会对光的行为产生影响，诸如表面粗糙度、光吸收率、次表
面损伤及表面残留应力等，其中以表面粗糙度对于光的反应能量为较清晰且较普遍可获得
的。

针对不可穿透之材料表面粗糙度，做光散射的能量分析。

根据能量守恒定律，假设入射光的总能量没有衰减，则 R+T+S+A=100%，其中R为镜面
反射光能量、T为穿透光能量、S为散射光能量、A为吸收光能量。实验试片为不可穿透之金属元
件，故穿透能量忽略不计，意指入射光能量分散在反射光、散射光及光吸收之中

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