多轴长行程微定位工具测量影像测量仪器

主要针对扫描探针显微镜之定位系统作整合与研究，以伺服马达为XYθZ 粗定位平台，
并选用压电材料与微结构放大器作为基础，利用田口方法对XYθZ 细定位平台做较佳化设计。

藉由系统参数鉴别技术与控制器的设计，
完成具纳米级定位精度的多轴长行程微/纳米定位平台的开发与研制， 使扫描探针显微镜

能达到更高效率的量测技术。此外，结合虚拟实境及网络科技，开发出微/纳米行
程回馈密闭控制系统供操作者使用，使得回馈装置不仅操作介面更加简易、人性
化，并且增加了操作时的安全性及真实性

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