电子产品元件晶体和导线尺寸检测显微镜

科技上有不少革命性的发展与突破，其中较明显是科技发展已经迈入纳米尺度的领域，
在许多的科技应用中，所有的结构与元件的大小，都是朝向“纳米”尺度前进，
也就是朝向“小”来发展。以我们现在所用

的电子产品中元件结构为例，电晶体和导线尺寸都已缩小到0.25 μm(百万分之一米)
以下，甚至已经到达0.09 μm;在视觉检测方面，人类的视觉只能观察到100 μm 大
小，至于肉眼看不到的事物，可以利用一些放大功能的工具如工业放大镜，立体显微镜

其倍率为数倍，乃至二、三十倍，至几百本 较小极限约可以看到5 至10 μm，如果要进行更细微的观
察，就要应用专业显微镜。依照显微镜的成像原理，大至可分为光学显微镜及电子显微镜，

不过这两种显微镜还是有极限， 光学显微镜较小极限可以看到0.2 μm，也就是200 nm，电子显微镜较小极限可以看到2 nm

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