扫描电子显微镜观察的特点-光学仪器厂商

扫描探针显微术如同在黑暗的房间中用手掌扫过书桌桌面，
虽然看不见桌上的物品摆设还是可以大致知道各物体的相对位置。
同样地， 使用光学显微镜看不到的时候也可以用 “摸”的方式，实际上扫描电子显微镜影像是模拟还原出来的

扫描探针显微术 (scanning probe microscopy,SPMS)

是使用一微探针在样品表面上移动，在探针移动的过程中会与样
品的表面会保持一固定距离，扫描的过程中可得到样品表面各处的高低起伏，因此
扫描探针显微术除了具有水平方向的解析力外，还有垂直方向的解析能力。扫描探

针显微术使用的探针非常尖锐，有时尖端上只有一颗原子，所以在扫描样品表面时
能够有原子等级的解析能力，常见的扫描探针显微镜：如扫描穿隧显微镜
(scanning tunneling microscopy,STM) 和原子力显微镜(atomic force microscopy,AFM)
都具有原子尺度等级的解析度 (~0.2纳米)

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)