芯片次电极涂布轮廓工具金相显微镜-微观仪器

电极涂布区域对芯片边界补正测试
此实验测试目的是将电极涂布区域经过多次补偿后，可如
期的置于芯片正中心，但因为补偿设备及软体间都各有误差存
在，所以要使电极座标系与芯片座标系完全符合是几乎不可能
的，因此，经过多次电极补偿涂布后，虽然补偿结果会呈现不
稳定的跳动，但只要其误差能位于允许范围内，则代表此补偿
方式是可被接受的。
∎ 两次电极涂布轮廓对位补正测试
在未补正前，两次电极涂布轮廓对位误差非常大，而此实
验目的为将两次轮廓对位误差降低至 50 μm 内，实验方法首先
使用数片芯片抓取两次涂布间误差偏移量，而于后面芯片第二
次涂布时使用此偏移量作为补偿，而补偿数十片芯片后，观察
两次轮廓误差是否皆于接受范围内

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)