近场光学显微镜在纳米测量的应用简介
近场光学显微镜对于现今奈米尺度量测 上有高空间解析的能力,是分析次波长微结构 不可或缺的工具。
因其空间分辨率受限于光纤 探针的尺寸,为近场光学显微镜中关键部份, 探针自制能力,并且利用自制的探针与外差式近场光学干涉仪结合已具有不错的成效。
再者,对于近场正交式的架构已有初步的模拟结果。对于辐射状偏极态入射光在近场光学用探针模拟也观察到了超小聚焦的现象,有助于提升近场光学显微镜之分辨率
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