制造材料孔隙率测量影像测量仪器-精密测量显微镜

孔隙率
孔隙率的量测是利用阿基米得原理来计算，粉末
的大小、外形与烧结温度、时间，都会对孔隙率造成影响，
孔隙率对于均热板微结构的重要性很大，孔隙率的越大可以携带的工作流体越多，通道也越大，对
于工作液体的回流至蒸发区也会越畅通，
但流道较小，在工作流体回流的毛细力会相对较大，所以孔隙
率对均热板的影响也相当重要。
渗透率
渗透率实验根据达西定律（Darcy’s Law），透过
渗透率的量测可以了解到流道是否畅通，渗透率越好
的结构，流道就会越畅通，这对设计均热板的内部的
微流道有帮助

藉由不同 mesh 数的铜粉搭配，制作均热板蒸发区与支撑柱的毛细微结构，
针对毛细微结构性质(平均收缩率、孔隙率、渗透率)来进行探讨，
进而对均热板进行热阻值量测。研究结果中显示，在毛细
微结构性质部分，325mesh 数的铜粉在平均收缩率有明显上升的趋势，孔隙率测试则呈现下降趋势，
而在渗透率测试中，呈现出随着 mesh 数的上升，
渗透率有明显的下降，因此影响了工作流体在均热板内部的
工作情况，使均热板内部微结构产生阻碍导致热阻值提高

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)