光学显微镜分辨率是0.2微米左右-电镜特点简介
通常,可以将透射电镜与光学显微镜的原理相对比,
而扫描电子显微的结构原理却更类似于传真照片。在此装置中,
用极细的电子探测束扫描试样时,在其表面上将产生二次
电子、反射电子或者X射线。
于是,移动照射在试样表面上的电子束照射点,如果试样的形状
或者性质发生变化时,
由试样上产生的量子数量将发生变化。所以,如果象电视画面
那样,用电子束扫描试样时,对应于上述的二次电子或反射
电子等的量子变化量,显象管的亮度也将同步地发生变化,
于是在荧光屏上就可以得到试样的象。
就分辨率而言,肉眼约为0.1毫米,光学显微镜的极限
分辨率是0.24微米,而扫描电子显微具有100埃以下的实用分辨率。
如果使用高辉度的电子枪,可以达到25埃的分辨率。因为
透射电镜的分辨率可达2^,3埃,所以,就分辨率这一点而论,
扫描电子显微不如TEM。但是,
它具有以下特点:
(1)焦点深度大,可以观察立体象,
(2)不必制作复膜可以直接观察固体表面。
此外,观察扫描电子显微象时,是观察电子撞击试样表面时所
产生的二次电子的象(也包含有反射电子的信息),同时,也
产生X射线,当使用适当的接收器时,也可以作元素分析。
而且,应用超软X射线分析时,也能分析化合物中元素的
状态。