各种金属磨粒类型分析用图像光学分析显微镜
触针形状与针尖半径：实际情况表明，工件表面粗糙度形成的角
度不小于150 度。因此，触针针尖的角度一般要求90度或60度。为了
耐磨，触针一般用金刚石做成。为了能磨尖，故按金刚石晶体形状作
成90度的棱锥形，但也有作成圆锥形的。针尖半径的大小将直接影响
仪器的分辨力，从分辨力出发，越尖越好，但无穷小的针尖，既造不
出来，又保持不住，而且太尖了也会划伤工件。实验室用高精度仪器
的针尖一般为2um 和1um ；
车间用仪器为5um 和10um左右。针尖是否有崩尖或磨损现象，可
用生物显微镜或双管显微镜做初步地检查，若要仔细地检查，可采用
扫描电镜。对于装在传感器上的针尖，可用“刀片法”进行检查。
所谓刀片法，就是把尖刃（刃尖半径0.2um 左右）刀片夹于块规
内，让刀刃露出一些，用仪器对其进行测量，画出其1000X1000 倍的
放大图形，然后根据此放大图形来评定针尖半径。
各种磨粒类型的判断，是依靠双色显微镜和扫描电镜进行，双色
显微镜可以确定磨粒是游离的金属还是化合物，而偏振光又可以得到
的关各种化合物的晶体结构资料。
扫描电镜能很好的显示出磨粒的形状。通常磨粒尺寸超过20um被
认为是严重磨损的大磨粒，接近2um 以下称为小磨粒，大小磨粒数量
的比例是表明产生严重磨损的一个特征。
有色金属或其它非金属磨粒的判别，可以采用双色显微镜再配合
某些特殊技术（如谱片加热法等）加以识别。
