金属氧化层显微的细孔,镀层显微结构测量显微镜
氧化层的多孔性
氧化层的形成和生长一直是在金属抽氧化物转变的情
况下进行的，当电解液和金属的接触能够保持时，
则氧化物的形成才能连续不断，而且产生的氧化层也不
是完全致密的。较近的研究指出，这种情况的出现，是
由于镀层上布满了超显微的细孔或通道，新形成的氧化
层或氧化层的增长，一直是发生在微孔的根部面晃是在
氧化层的外表面。
假定微孔为圆形截面，则微孔的直径约为0.1微米
镀层显微结构的研究。包括了以下内容：
1）微观形貌观察
2）微区化学成分分析
3）微区相组成分析
4）镀层的晶体结构、择优取向和界面取向关系
5）镀层的表面、晶界和相界状态
6）镀层的缺陷
7）镀层的微观电子结构
在现代物理实验中，用电子束，离子束和电磁波作用
于物质、分析得到的信号，从而取得关于物质状态的资
料，这是我们进行薄膜显微结构研究的主要方法。
由表可以看出，一种方法常常可以得到多种信息。例如
，用X射线衍射，可以分析镀层的晶体结构、缺陷、择优
取向（织构）和内应力。因此，在实验中要充分结果更
可靠，或者使分析能够更加全面，
常常将多种方法组合到一台仪器上，例如，在分析电镜
上，配备了能谱、能量损失谱和微束衍射装置。在多功
能表面分析仪上则能使了俄歇能谱、光电子能谱、低能
电子衍射和二次离子质谱。这种多方法的组合运用，使
我们能够得到单一方法无法取得的效果。
