光学计量仪器的显微设计的特点-测量显微镜厂商
光学计量仪器的显微系统的特点
光学计量仪器中显微系统可分两类:一类是用来观察物体表面微
观轮廓(如表面光洁度)
另一类是用来瞄准或读数的。前者主要考虑分辨率,并由它决定
其数值孔径、放大率等一系列参数;后者则从瞄准、读数精度出发来
决定其参数的。由此可知,它们的结构参数是不同的:
1.放大率
用于分辨细节的显微系统,希望有较大的放大率,对某些仪器它
只是名义值。而用于瞄准、读数显微镜。显微系统其放大率不高(一般不
超过100 倍)但其物镜的放大率必须严格准确,否则它会直接造成测
量误差。因此在设计时应考虑其结构形式,便于装配、调整其放大率
到准确的数值。
2.数值
孔径由分辨率就决定了用作微观观察的显微系统应具有较大的数
值孔径;而瞄准用的系统其放大率不高,数值孔径也必然较小,系统
的景深也就较大,因此这类系统不能用作光轴方向的精密定位。
3.视场
由拉格朗日不变量可以知道,一个系统的数值孔径和视场不能同
时都增大。数值孔径大的系统,视场较小;而数值孔径小时,可以有
较大的视场。
4.工作距离
用于微观观察用的显微系统,其工作距离都很短,使用上也没有
什么特别要求;而瞄准、定位用的显微系统,往往要求有较长的工作
距离。
5.光阑位置
在普通的显微系统中,对光阑的位置没有什么要求,设计者可根
据校正象差的需要或结构尺寸的要求来自行安排,往往就选取在物镜
框上,