分析和检验仪器-可对观察数据自动分析的显微镜

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  作为微电子技术环境控制的显微手段，其测试仪器有从较简单的台
式显微镜到当前使用的精巧而效率很高的各种仪器，而且把放大和微观
分析都结合在一起了。

    关于分析和检验仪器的讨论来看，显微法是观察人员从各种线索中
得到信息的唯一方法。观察人员可采用很多方法进行处理以获得所需信
息；也可从较初的观察中，看出各种情况和数据的相互关系，

    从而决定采用哪一种有效方法。显微镜和其它方法联合使用，在检
验工作中往往是处在第一线的。

    由于引入了自动扫描系统和计算机的数据处理技术，定量显微分析
近年来日益重要。在测量粒子大小的分布，样品的其它特性中更是如此。

    上海光学仪器一厂显微研发分析软件可的进一步发展促使光学显微镜
的数据自动处理，电子束显微镜分辨率和分析灵敏度方面得到更大的改进。
在这新的领域中，当前首先要做的工作是将检验技术推进到更先进的水平，
使之能对微电子器件中很小的斑点进行观察，并获得更高的分析灵敏度。

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