显微机械加工样品检测显微镜-微加工制造
显微制造与微型电铸
显微制造或者说显微机械加工(micromachining)是从半导体器件生产到集成电路制造一直在采用的高新技术。在微电子技术时代,
显微制造已经是不可或缺的现代加工技术。但是,我们以往所知道的显微制造,较多的还是显微光刻和显微蚀刻,而很少听说微型电铸。但是,在微型机器入等微型器件的研制进入实用化以后,微加工技术中的微型电铸很快成为一个重要的加工方法。这种方法实际还是在微蚀方法的基础上发展起来的微加工方法
使电铸成型体裸露出来,从基板上取下,即为电铸成品。
这种微加工技术当初是为了研制光导纤维连接器和光导开关而进行的工艺技术开发。现在已经发展成为微加工制造中的重要加工方法。
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