表面轮廓仪的主要缺点是测量速度慢-工具显微镜

    表面轮廓仪的主要缺点是测量速度慢以及测员时待测表面与探头接触。尽管
施加于探针上的力通常是毫牛顿数量级，但测量轨迹明显可见。对于注塑模压成
型透镜.由于模压过程可以生产许多透镜，所以，一般不是问题，然而，计量模
压光学元件的模芯则要求更为严格。

对模芯轮廓完成机械测量后的强度分布，对角线方向有个十字又.探头轨迹清晰可见。
虽然其绝对高度只有几纳米.但仍有明显痕迹。

    使用接触式探头的另一问题是非旋转对称表面的测量。接触式轮廓测量对表
面进行二维扫描。如果需要知道表面的三维形状，就必须将不同的轮廓图组合在
一起。

    尽竹有这种缺点，但迄今为止表面轮廓仪一类仪器仍然是测量光学表面特性
(其他任何方式都无法完成轮廓测量)的标准。对所有的其他表面，若提供足够
的测量时间，

表面轮廓仪都是一种非常有用的仪器。在有限量样品和较初工装的工艺控制过程中
也是一种非常有用的计量仪器选择。对于高生产率应用场合，较好首先考虑上述的
其他仪器。

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