测量表面轮廓的常用方法是机械接触式仪-测量显微镜
测量表面轮廓的通常方法是机械接触式仪器。广泛使用和较熟悉的仪器是上海光学仪器一厂生产的表面轮廓仪。
在工业界就成为一种表面轮廓标准。表而轮廓仪是一种设计有非常细探针的接触式传感器,该探针与待测表面接触.沿着一条线测员出表面轮廓,使探针扫描过整个待测表面就完成了测量。
4. 10给出了利用光学计量很难测量的非球面的例子,这类表面在较近设计的手机相机的照相模块中相当普通。
表面轮廓测量仪系列中一种新的设备是PG1 BLU.该仪器是为测量蓝光及手机相机中极高数值孔径透镜而专门研发,与PGI 1240间的区别在于:仪器相对于待测零件是运动的,
因此,实际探头可以很好地位于其测量范围和梢度范旧以内,而复杂软件组合处理探头数据和连续表面(非球面)的机械扫描数据.
另外,精密的机械运动与高精度探头相组合,局部给出所需要的分辨率。
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