精密测定工具显微镜-应用于测量零件的尺寸
由于室温变化而使各部分的温度分布情况发生变化，因而产
生变形，精度自然要起变化。实际上，如果知道了不同的室温对
测定值变化的影响情况，借助于修正测定值，就能够以接近的标
准精度使用工具显微镜。假设被测零件与工具显微镜的主要基础
部分是相同的线膨胀系数的材料，热容量也相同，即使室温发生
变化，在两者中间因为没有热的时间滞后，所以测量精度不会有
太大的变化。考虑到这一点，在实际使用时产生的有关温度方面
的一个大问题，乃是与测定值有直接关系的那些部分与被测零件
之间产生的热容盘的差，或者也可以说是随时间变化的两者的时
间滞后的差值问题。但是，这要在被测零件的尺寸没有太大变化
的情况下才成立。
如上所述，由于用三个支脚设置工具显微镜，在这种情况下，
有水平面方向(横向)的力作用于支脚上，此时产生的变形，显
然是使运动部分精度下降的原因，而且，加上主体的结构情况，
再加上述原因就会使测量误差相当大。但在JPC情况下，如前
面所阐述的那样;通过在主体底座上增设加强筋，就能够完全防
止产生测量误差。
众所周知，关于精密测定器测量精度的主要问题，就是热的
问题。如果精密测定器做成非常简单的形状，就能够从理论上
求得由于测定器温度分布而造成的变形，由于实际的精密测定器，
一般都是复杂的结构，所以，从理论上处理热的问题就有困难。
对工具显微镜来说也是如此。
