样品截面的形貌分析常用光学显微镜-计量软件
光学显微镜受可见光波长太长、衍射系数偏小和物镜聚光角难于
超过90°的限制，以及景深的限制，使得光学显微镜用于断口形貌观
察遇到难以克服的困难。
20世纪中叶另寻技术路径，探索采用发射电子束的方法来替代可
见光，在电场作用下具有较大能量的电子束（电子流）通过电磁聚焦
后轰击到断口表而，可穿透到金属表面之下一定的深度。电子束轰击
后可以激发金属释放出一系列的信号，
这些信号被收集检测之后再经处理就可成为观察断口形貌的电子
显微镜和断口微区化学元索的成分分析仪器。例如利用透射电子可以
制成透射电子显微镜（TEM ）；
利用二次电子和背散射电子可以制成扫描电子显微镜（（SEM ）
；利用X 射线或俄歇电子可以制成多种断口材料成分或覆盖物成分、
微粒成分的分析仪。
几十伏的人射电子束进人被测金属的深度和受激的体积大小是与
金属的原子序有关的，轻金属的进人深度和体积要比重金属大许多。
正是开发了电子束对试样轰击后激发出信息的检测技术。
使断口学得到了极大的发展，促使失效分析有了更先进的手段。
除对断口的形貌进行分析以确定断裂机理之外，失效分析还必须
对破断的原因作出深人而准确的分析，其中对断口上暴露的金属本体、
特殊的相或夹杂颗粒、表面援盖的腐蚀产物、沾污的物料等进行化学
成分的分析与鉴别，
因此必须要采用相应的分析工具。目前这些分析仪器非常之多，
有的可以与扫描电镜联用，有的则完全自成系统。
