聚焦型激光显微镜-显微测量仪器制造厂商
用激光光点检测位置的方法称光触针法。它是用光点代替与被测件接触的触针尖。此方法的优点是不接触工件就可以进行测量,这是因为使用了聚光性好、亮度大的激光。所以,光触针法在坐标测量中具有很高的使用价值。
用一般透镜把激光聚集成象,称为聚焦型激光显微镜,测量对象主要是物体的位置和形状。此处介绍其中一部分,其余部分在光电显微镜中介绍。
根据被测量位置上入射光束和反射光束的关系,把光点检测位置分为两类:一类是入射光轴和反射光轴同轴,另一类是两光轴有一定倾角。
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