表面微形状轮廓仪简介-粗糙度轮廓仪制造厂商
表面微凸体的形状
任何触针(轮廓仪)法和大多数剖切法都是故意把垂直
标尺放大。结果是,经过磨削或抛光的表面看起来好象是阿
尔卑斯山或喜马拉雅山的地形。如果我们把这些表面轮廓如
实地恢复到它们的真实形状,我们将发现这些表面微凸体要
平缓得多,而任何高峰或低谷的平斜度不会大于几度,也许
不大于5 00这也适用于用粗锉刀锉成的那些粗糙表面,‘即沟
槽较深.但平均斜度仍旧只有几度。
当然也有一种明显的例外情况。对于经过仔细退火的晶
体材料试件,各个晶粒会以原状伸出到外层表面。这时,晶
粒面会与表面成一很大的角度。例如,对于具有立方晶格结
构的固体,会出现与总平面成90°的阶梯。对于经过磨削或
抛光以及电抛光的表面,不会发生上述情况,但也许顶上二、
三个原子是例外。微观几何结构与原子结构不同,它的斜度
比较平缓。把表面说成是像起伏的丘陵,而不是山峰更为确
切(这样也许不太逼真)。
有~种经过改进的反射法。其中细的电子锥按非常密集
的折线对表面进行扫描(在电视业的术语中,称这种扫描图
为“光栅”)。试件所散射出的电子可用集电栅聚集起来,以
便用来调节电视显象管中光束的亮度;这种对电视屏幕进行
扫描的光束与对试件进行扫描的电子束同步
。这种方法称为显微探针法或体视扫描法,虽然它的分
辨率不及其他的电子显微镜测量法,但所得到的图肜是非凡
的三维图