微机械可以达高精度,自动化微装配工具显微镜
微操作机械手是微装配与微操作系统中的核心设备，除手工
装配与操作外，交互微装配和自动化微装配都需要机械手参与。
由于微器件的尺寸很小，它的装配精度要求非常高，通常是
亚微米或纳米级的，这就要求机械手要有高的精度。为了达到高
的精度，
一般机械手自由度为三个，如需更多的自由度，一般由操作
平台提供。现有的微操作机械手可以分为两类：一类使用传统的
方法设计，利用电机驱动，滚珠丝杆和齿轮传动：另一类使用特
殊的传动方式，如压电陶瓷驱动。传统设计的微操作机械手工作
空间大，但精度低，必须采用补偿的方法提高精度。而采用压电
陶瓷驱动，可以达到高的精度，但工作空间小
对微操作机械手进行控制。第二种为自动控制模式，由传感
器的反馈完成机械手的控制，从而获得较快的装配速度。对于复
杂的装配过程，一般由操作者控制机械手运动，
而对于简单的任务，一般由机械手自动完成，例如，对于将
轴插入孔中的任务，必须由操作者控制完成，而对于机械手的视
觉跟踪，可由机械手根据控制算法自动完成。
对于高精度的装配任务，使用压电陶瓷驱动的微操作机械手
更加合理，与传统的微操作机械手相比，这种驱动的机械手不仅
位置精度高，控制也比较简单，惟一的缺点是运动范围小。一种
解决方法是将机械手设计成可移动的、高精度的微装配机器人。
