高精度零件加工组装视觉显微镜,集成电路工艺
实际应用的装配系统，一般采用集中装配的方法，即整个微
系统的器件都在一个装配系统中完成。采用这样的装配方式不仅
不能很好地解决微装配存在的三维信息提取、全局一局部视觉系
统集成、粗一细运动平台控制、装配系统复杂等问题，还带来了
新的问题，主要是：
（1 ）采用机械手传输待装配的器件，由于传输的距离远，
机械手须特殊设计，且设计困难。当传输不同形状零件时，机械
手的末端执行器需要更换，浪费了装配时间。
（2 ）微装配中使用的装配机械手必须按零件鼓高的装配精
度来设计，例如，一个微系统有十个零件，其中，九个零件的装
配精度低于1 微米，另一个零件的装配精度为0.01微米，则机械
手末端执行器的定位精度必须小于0.01微米。这样就大大增加了
机械手的设计成木。同样，对于不同形状的零件，也需要更换末
端执行器，降低了装配效率。
（3 ）同样，视觉系统的放大倍数，放置装配子系统的运动
平台都需要按较高精度来配置。
（4 ）集中式装配系统由于结构复杂，并不能将问题分解、
简化，从而较终解决。正好相反，它将许多问题集中在一起，形
成更加复杂的问题。
要使微机电产品实用化，首要的问题是降低成本、提高效率、
能进行批量生产和基于集成电路工艺的微机电产品生产一样）。
所以必须降低微装配系统的成本，提高装配效率，使得微装配系
统标准化、模块化和通用化，而不是针对不同的微产品设计不同
的装配系统。
