测量轴轴线与工作台不垂直度对测量精度的影响

    由于本仪器是进行比较测量的，因此，此项误差与被测件
的本身长度无关，而与基准件和被测件之长度差值有关。这
种不垂直度所引起的误差是二次误差:

    立式接触式干涉仪是应用光波干涉原理作高精度的比较
测量。目前，主要作为长度基准传递仪器，可检定二等或二等
以下的块规，也可对尺寸在160毫米以下的精密工件的微差
尺寸作测量。

显微镜测量原理

    此仪器应用了光波干涉原理，将微小的长度变化转变为
干涉条纹的移动，再记录干涉条纹的移动量来达到测量微小
长度的目的。

    干涉滤光片有两个用途，一是用来定分划板的分度值，
一是来寻找干涉条纹。在干涉箱的后面有两个带十字槽的螺
钉，通过专用调节扳手来转动它，可以改变干涉条纹的宽度和
方向。

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)