表面粗糙度光学检验粗糙度仪-电子显微镜技术
表面粗糙度的测定方法中吸附法到达较高的“分辨度”，吸附法所
记录的表面，是能被吸附物分子所接近的所有表面，因而能包括分子直
径数量级的不规则性，应理解到机械法、光学法和电子显微镜法能直接
测出该有关物体的尺寸，这在原则上可以用一些当量直径表示，而吸附
法能直接测定表面积，只能间接地导出直径值，如这种不规则性的深大
于宽，它们对内表面有贡献，因而吸附法主要地用于测定表面，而不是
外表面，然而对于具有可忽略不计的内表面的粉体，气体吸附法原则上
可以应用于测定外表面，实际上，只有更细地分散的固体才能用此法研
究，因为氮吸附的比表面测定的下好是约每克 1米，而氪吸附是约每克
500 厘米，分别对应于约2 至40米数量级的粒度。
对粗糙度的一处方便但近似的光学检验法就是用眼观察，看表面的
任何部分是否给出一个完善的镜子的印象，如其不然，则其不规则性至
少属于光的波长的数量级，于是该表面是由面积大于允10厘米的许多小
平面所组成，它们与表面总方向相交构成品种角度，这检验法的分辨力
与显微镜的属于同一数量级，即使镜面看来是完善的，却还不能假定表
面没有这数量级的不规则性，因为深的裂缝会因汇集了大量的光线面镜
状地被反射，从而使深裂缝不能表现出来。
对于电子显微镜，分辨的极限下推到几十A ，在有利场合可达10A
左右，因而这仪器可揭露存在着的几十分子直径高的粗糙度。
